在线征询
初中高效氛围过滤器操纵场合
信息中间
产物目次
最新更新
接洽咱们
接洽人:林司理
手机:13922242688
传真:020-39968996
网址:http://qingfengseo.com
Email:13922242688@139.com
初中高效氛围过滤器操纵场合
无尘室
资料来历:广州启绿氛围过滤网制作无限公司   日期:2013-07-19   人气:   标签:无尘室过滤器 无尘室氛围过滤器

     无尘室最首要之感化在于节制产物(如硅芯片等)所打仗之大气的清洁过活及温湿度,使产物能在一个杰出之情况空间中出产、制作,此空间咱们称之为无尘室。按照国际老例,无尘污染级别首要是按照每立方米氛围中粒子直径大于分别规范的粒子数目来划定。也便是说所谓无尘并非100%不一点灰尘,而是节制在一个很是微量的单元上。固然这个规范中合适灰尘规范的颗粒绝对咱们罕见的灰尘已是小的微不足道,但是对光学机关而言,哪怕是一点点的灰尘城市发生很是大的负面影响,以是在光学机关产物的出产上,无尘是必然的请求。

无尘室按用处分类(可分为两大类)

(1)、产业无尘室

  ——以无性命微粒的节制为工具。首要节制氛围灰尘微粒对任务工具的污染,外部通俗坚持正压状况。 它合用于紧密机械产业、电子产业(半导体、集成电路等)宇航产业、高纯度化学产业、原子能产业、光磁产物产业(光盘、胶片、磁带出产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头出产等多行业。

(2)、生物无尘室,

  首要节制有性命微粒(细菌)与无性命微粒(灰尘)对任务工具的污染。又可分为;

  A、 通俗生物无尘室,首要节制微生物(细菌)工具的污染。同时其外部资料要能承受各类灭菌剂侵蚀,外部通俗保障正压。本色上其外部资料要能承受各类灭菌处置的产业无尘室。例:制药产业、病院(手术室、无菌病房)食物、化装品、饮料产物出产、植物尝试室、理化查验室、血站等。

  B、 生物学宁静无尘室:首要节制任务工具的有性命微粒对外界和人的污染。外部要坚持与大气的负压。例:细菌学、生物学、清洁尝试室、物物

  无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或喧扰室,指将必然空间规模内之氛围中的微粒子、无害氛围、细菌等之污染物解除,并将室内之温度、清洁度、室内压力、气流速率与气流漫衍、乐音振动及照明、静电节制在某一须要规模内,而所赐与出格设想之房间。每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数目节制在3500个以下,就到达了国际无尘规范的A级。今朝操纵在芯片级出产加工的无尘规范对灰尘的请求高于A级,如许的高标首要被操纵在一些品级较高芯片出产上。微尘数目被严酷节制在每立方米1000个之内,这也便是业内俗称的1K级别。
      无尘室中不管内在之氛围前提若何变更,其室内均能俱有坚持本来所设定请求之清洁度、温湿度及压力等机能之特征。 它是污染节制的根本。不无尘室,污染敏感整机不可以或许批量出产。在 FED-STD-2外面,无尘室被界说为具有氛围过滤、分派、优化、机关资料和拆卸的房间,此中特定的法例的操纵法式以节制氛围悬浮微粒浓度,从而到达得当的微粒清洁度级别。无尘室是
般其无尘室品级为Class 1~100。其型式可分为二种:
   (1)程度层流式:程度式氛围自过滤器双标的目的吹出,由对边墙壁之回风体系回风,灰尘随风向排挤室外,通俗在下贱侧污染较严峻。
  长处:机关简略,运行后短时候内便可变成不变。
  毛病谬误:制感化度比乱流式高,室内空间不易扩大。
  (2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器笼盖,氛围由上往下吹,可得较高之清洁度,在制程中或任务职员所发生的灰尘可疾速排挤室外而不会影响别的任务地区。
  长处:办理等闲,运行起头短时候内便可达不变状况,不易为功课状况或功课职员所影响。
  毛病谬误:机关用度较高,弹性操纵空间坚苦,天花板之吊架相称占空间,维点窜换过滤器较费事。

  
比拟


乱流式

层流式

复合式

程度层流式

垂直层流式

清洁地道

清洁管道

部分无尘

清洁度

Class 1000~100000

Class 100~1000

全区Class 100

地道内Class 100

Class 100

Class 100

换气次数(次/时)

15~80

100~300

300~500

地道内500~1000

100~300

100~300

风速(m/s)

1~3

0.45~0.6

0.25~0.4

0.3~0.5

0.25~0.5

0.25~0.45

正压度(mm wg)

0.5~1.5

1.0~2.0

1.5~2.5

1.0~2.0

1.0~2.5

1.0~3.0

相干观点:

  (1)、自净时候:是指无尘室按设想换气次数起头送风到无尘室,室内含尘浓度到达所设想的污染级别的时候。 1,000级但愿不跨越20min(分钟) (可取15min计较) 10,000级但愿不跨越30min(分钟) (可取25min计较) 100,000级但愿不跨越40min(分钟) (可取30min计较)

  (2)、换气次数(按上述自净时候请求设想)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)

无尘室污染源常识

1、发尘量

  无尘室内的发尘量,来自装备的可斟酌经由进程部分排风解除,不流入室内;产物,资料等在输送进程中的发尘与人体发尘量比拟,通俗极小,可疏忽;由于金属半壁(彩钢夹心板)的操纵来自修建外表的发尘也很少,通俗占10%以下,发尘首要来自人,占90%摆布。在人的发尘量上,由于服装网www.vhao.net资料和款式的改良,发尘绝对量也不时削减。

  A、材质:棉质发尘量最大,以下顺次为棉、简直良、去静电纯涤纶、尼龙。

  B、款式:大挂式发尘量最大,凹凸分装型次之,全罩型起码;

  C、勾当:举措时的发尘量通俗到达勾当时候3-7倍;

  D、洗濯:用溶剂洗濯的发尘量降至用通俗水洗濯的五分之一。

  室内掩护规划外表发尘量,以空中为准,约莫响应8平方米空中时的外表发尘量与一个勾当的人的发尘量相称。

2、发菌量

任务职员发生的污染:

  1)皮肤:人类凡是每四天完成一次皮肤的完全脱换,人类每分钟零落约1000片皮肤(平均巨细为30*60*3微米)

 无尘室之分类

1.乱流式(Turbulent Flow):
  氛围由空调箱经风管与无尘室内之氛围过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型勾当而呈不法例之乱流或涡流状况。乱流无尘室靠送风尚流不时浓缩室内氛围,将污染氛围逐步浓缩,来完成清洁的。气次数决议界说中的污染级别(换气次数越多,污染级别越高)。此型式合用于无尘室品级1,000-100,000级。
  长处:机关简略、体系制作本钱,无尘室之扩大比拟等闲,在某些出格用处场合,可并用无尘任务台,进步无尘室品级。
  毛病谬误:乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排挤,易污染制 程产物。别的若体系遏制运行再激活,欲达须要之清洁度,常常须耗时相称长一段时候。

2.层流式(Laminar):
  层流式氛围气流勾当成一平均之直线形,氛围由笼盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式合用于无尘室品级需定较高之情况操纵,一
3.复合式(Mixed Type):
   复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可供给部分超清洁之氛围。
  (1)清洁地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程地区或任务地区100%笼盖使清洁度品级进步至10级以上,可节流拆卸运行用度。
  此型式需将功课职员之任务区与产物和机械维修予以断绝,以防止机械维修时影响了任务及品德,ULSI制程多数接纳此种型式。清洁地道还有二项长处:A.弹性扩大等闲; B.维修装备时可在维修区等闲履行。
   (2)清洁管道(Clean Tube):将产物流程颠末的主动出产线包围并污染处置,将清洁度品级提至100级以上。因产物和功课员及发尘情况彼此断绝,少许之送风便可获得杰出之清洁度,可节流动力,不需野生的主动化出产线为最适合操纵。药品、食物业界及半导体业界均合用。
  (3)并装部分无尘室(Clean Spot):将无尘室品级10,000~100,000之乱流无尘室内之产物制程区的清洁度品级进步为10~1000级以上,觉得出产之用;清洁任务台、清洁任务棚、清洁风柜即属此类。
  清洁任务台:品级Class 1~100级。
  清洁任务棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之通明塑料布围成一小空间,接纳自力之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高等之清洁空间,其品级为10~1000级,高度在2.5米摆布,笼盖面积约10m2以下,四支支柱并加装勾当轮,可为弹性操纵。

 2)头发:人类的头发(直径约为50~100微米)一向在零落。

  3)口水:包罗钠、酶、盐、钾、氯化物及食物微粒。

  4)泛泛衣物:微粒、纤维、硅土、纤维素、各类化学品和细菌。

  5)人类勾当和坐立每分钟将发生10000个大于0.3微米的微粒。

  6)人类在头部和躯干做举措时每分钟将发生1000000个大于0.3微米的微粒。

  7)人类以0.9m/s的速率行走时每分钟将发生5000000个大于0.3微米的微粒。

阐发外洋尝试资料可以或许觉得:

  (1) 无尘室内当任务职员穿无菌服时:

  勾当时的发菌量通俗为10-300个/min.人

  躯体通俗勾当时的发菌量为 150-1000个/min.人

  快步辇儿走时的发菌量为 900-2500个/min.人

  (2) 咳嗽一次通俗为 70~700个/ min.人

  喷嚏一次通俗为 4000~62000个/ min.人

  (3) 穿泛泛衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人

  (4) 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14

  (5) 发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国际事例:

  (6) 手术中职员发菌量 878个/ min.人

  以是,可知无尘室内无菌衣职员的静态发菌量通俗不跨越300个/ min.人,静态发菌量通俗不跨越1000个/ min/人,以此作为计较根据是可行的。
无尘室有五个特征 :
(l)经久性;(2)本钱; (3)顺应性; (4)可掩护性;(5)洗濯 。

(1) 经久性:

  无尘室要有合适情况、无尘室外部的洗濯溶液及振动、装备、氛围过滤体系的经久资料。而经久性,同时也依靠无尘室品级来制作。半导体 Fabs 偏向挑选铝,基于它的经久性,但是,它不是自制的物资。

(2) 洗濯:

  在制药和生物工学产业,无尘室的墙壁须要有等闲被洗濯和擦拭,直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特征。在 biotech 市场,洗濯真正地是一个最主要的企业。

(3) 本钱:

  微电子 C/R 扶植费可以或许破费到亿。fab 能更快的被制作起来,产物也就可以或许更快到达这市场。 良多半导体公司的标语是较自制和较好的。但是 "钱" 将成为一个很主要的斟酌身分。

(4) 顺应性:

  一些厂商觉得顺应性可节流一笔款项,而顺应性意指体系可肆意挪动或转变而不会导致极大的丧失。C/R 的具有者和设想者的才能为转变一 C/R的关头,以是他们从不将最后的设想定型。

(5) 掩护性:

  对无尘室 C/R 而言,较严酷请求的部分为地板、天花板,和墙壁的部分。 至于维修的题目,对资料的挑选是不是等闲清洁性及维修性都应有其优先级。在操纵力面、天花板、地板及墙壁三者当中最主要的为天花板,其包罗 HEPA 及 ULPA 等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个差别的须要,便其分隔来,供给各个差别地区的斗室间,曾有人说 :若制作之估算因某种缘由被限定,除多数的小钱外,其天花板将趋于更贵的境界,实在天花板是一个颇庞杂的体系其必须严酷地过滤粒子,故其设想必须切确。

  良多领会无尘室的人都附和,第一次具有不尘室的具有者,应操纵较好之C/R 修建或工程设想公司或领会修建 C/R 设想之修建承包商若假定他们不领会, 则必会华侈一大笔不须要花的钱,故挑选一制作C/R 的公司也是很是主要的。

  对 C/R 而言,其挑选地板的资料也是很主要的。高贵的 C/R 地板笼盖着一层乙烯基在薄板上,若太硬的地板笼盖会引发灰尘,而太软的地板会形成地板曲折甚致分裂,但并不是一切 C/R 的地板,城市笼盖,乙烯基。有些地板是冲孔式、格子式,而周全层流都是冲孔式。

  乙烯基有一感化即脱氧,但高浓度乙烯基与别的物若夹杂的话将会有减低脱氧的结果,而无尘室的墙若以铝作为资料则将会很是高贵,但铝却可以或许掩护墙面不被氛围所氧化,但是却易受酸性气体的侵蚀,而防止的体例是操纵电镀,便铝外表增厚,不易氧化,再在铝外表上再涂上一层光亮漆便可防止金属氧化。

  对半导体产业而言,无尘室是一须要且不可缺之装备,其对氛围中的粒子请求很是之严酷,故对天花板、墙壁、地板的请求亦很是严酷。地板是职员、台车及分量的运输,而断根地板所用者大部分为消毒药品及化学药品,当咱们瞥见地板磨损时,也便是操纵期已太久,快分裂了,不只会使得平静度的升级,也会因地板的磨损而发生氛围中粒子的增添。

  别的,C/R最怕的便是粒子泄露。天花板中的滤网有良多种。比方层流式 C/R 而花板的组成组件包罗了HEPA/ULPA 滤网组灯光组亦有可以或许包罗空缺的嵌板,这范例的天花板长处为,安排体例并不严酷的限定。

  C/R 之墙壁还有一种是以薄钢制成,但必须在表层涂上一层掩护层,不然亦会侵蚀,它并不等闲电镀,而在表层涂上的掩护层会变得易碎,很等闲剥落,但如果挑选高品德的不锈钢,就不用涂上掩护层7,而操纵玻璃作的 C/R 会使得房间的光芒大增,和雅观,但必须涂上一抗紫外线的妨碍物,且可以或许视觉互通,较不会发生幽闭惊骇症。
无尘室用空调箱选用时应注重的事变
本篇文章所会商到题目便是选用喧扰室之 AHU 所应斟酌到的题目。对每一个工程师或设想师而言,选用喧扰室的空调体系大要是最庞杂的题目之一,由于喧扰室之空调前提要比泛泛的空调区间来的庞杂且较严酷,人都用于病院、药品制作、紧密电子整机制作场等。

  选用准确的装备是设想者应尽的责任。本篇文章将其分红几个部分作会商,吾将其作为清算后作成以下报告。

(一) 就当局法例而言

  各个国度当局对喧扰式的设想前提请求差别,应注重设想时当局之气节。 设想喧扰室之 AHU 应府合 FDA 律例或 EPA 排放氛围法例。 IAQ 已垂垂被正视,设想时应注重 IAQ 之律例。 视操纵场合而定,过滤体例又可分红机械过滤法与化学过滤法。 低级过滤,中级过滤,高效过滤与无菌的情况以机械过滤法即能告竣。 为到达排气之情况请求化学洗濯器 (scrubber) ,焚化炉或更多的机械及化学过滤装备必需被操纵。 活性碳或高锰酸盐能有用到达化学过滤的请求。

(二) 就本钱而言

  在一些外表出格的修建物中,那些增添的设想和装备操纵的用度在持久的好处中须作准确的判定。在一些出格的操纵上,凡是都习气设想两至三次的过滤以到达所请求的状况。传统的喧扰室若赶上请求较为严酷的部分时,设想必须有良多额定加价的部分。喧扰室应尽可以或许防止停机的景象,在制作的本钱里必须注重经久性及可*度。在风门调剂上,设想者设想时,对温度及湿度的请求差别,就像是在设想人们的栖身情况通俗。 在栖身情况中,停机期和温湿度上的请求较安排装备下去得高。以是品德上及所供给的办事功效是不能轻忽的。在出格的喧扰室通报或领受的装备,在毛病点窜操纵上用度是比 较高贵的,且若不能与设想图上一样,可以或许会没法履行。在设想出格的喧扰室时,修建的本钱中包罗运行本钱,而运行本钱又包罗须能延续运行的马达本钱及修护本钱。本钱的归结有拆卸费,延续运行费,维修费。计较运行本钱必须斟酌到能量的耗损及效力的凹凸。就高效力或新机台启动前,会先引进外气,如许对扭转的原动力、交换板、排气的管路和氛围回流夹杂体系中,持久操纵可坚持较高的效力。在操纵上和延续运行用度上必须斟酌是不是进步全部的装备用度。

(三) 就任务参数设定而言

  独有的温度、湿度乐音、振动及运作的情况请求下,大部分将影响到装备的选用。 就某些实例而言,温湿度的设定 点在可接管的规模内必须要坚持在一个持久间或较完全的情况及进程。 喧扰室的加热力法可用热水、水蒸气瓦斯和电能,可用冰水,乙醇或冷媒冷却。 操纵水蒸气、打针器、喷雾器及渗入的体例可以或许加湿。 当评价加湿的来历时,出格要注重的是加湿进程和加湿的体例是不是保障清洁。 典范的喧扰室透风办理拆卸操纵一个有接收力或吸附力的物资去除大气中的湿气或操纵低温乙醇螺管体系去湿。 温湿度设定后,就必须斟酌氛围流量参数是不是知足所需。 典范的喧扰室必须坚持在大气常压下。是以房内之压力及体积之值必须得当予以节制。 电扇的乐音与震撼必须被斟酌上去。 得当的拆卸东西及马达转速可防止不须要的乐音和振动。 电扇规划可操纵皮带驱动或间接驱动。 风速节制及可变频次节制可以或许依体积须要来决议乐音及振动的限制。 最通俗的减振体例为拆卸弹簧基座、牢固基座及将空调箱阔别。 经常操纵的声响衰减器有可动式地板、缓冲机和电扇曲折度及伸缩度节制。 声响衰减器断绝电扇和设想成薄的特征,可下降几度音阶连系。 除粒子的节制之外,出格要斟酌的有(a)带细菌的操纵进程,(b)侵蚀物或有毒的化学物品,(c)挥发性或易迸发的药剂,(d)还有室内及排气的氛围品德,(e)宁静,(f)装备寿命和颐养才能等。

(四) 就修建斟酌方面

  空间的操纵率会影响 AHU 的现实巨细。 颐养门和通路仪表板的地位必须谨严地决议,出格是位于小空间的装备。 应防止外表固结,除触及湿气感化和固结在装备的外部之外,湿气对氛围通报装备外部组成身分也有倒霉的影响,混气对外部组成也有倒霉影响,将使寿命延长,本钱进步。 湿气感化将会漫衍弊病和污染物,便得效力低的使人惧怕。 减低修建物的侵蚀物资和铝、不锈钢或涂上一层合金,可以或许操纵上列物资使喧扰室寿命增添。 设想装备空间时,应保留得当的通路,以备扫除或维修用。 对铜制的、不锈钢制和铝制的盘管,应注重那种场合合用那些盘管。

(五) 就办理分解物的规格体例

  胪陈一 C/R 的 AHU 是一个极大的任务,并完全增添切磋和领会这加工体例可以或许供给其规模于 C/R情况,可操纵的操纵上和地感性的参数操纵上也必须被估计。

  有专业和有经历的 AHU 厂商可以或许辅佐操纵者在操纵上的庞杂细节以使机械不会适量设想,此项重点在 C/R 设想阶段即应详加注重。

  其请求是不是等闲对资料的挑选而言天花板中的滤网有良多种,其最怕的便是粒子泄露。



无尘室气流之勾当

    无尘室的清洁度常常遭到气流的影响,换言之,即人、机械隔间、修建规划等所发生的灰尘之挪动、分散遭到气流的安排。
  无尘室系操纵HEPA、ULPA过滤氛围,其灰尘的搜集率达99.97~99.99995%之多,是以颠末此过滤器过滤的氛围可说非常清洁。但是无尘室内除人之外,还有机械等之发尘源,这些发生的灰尘一旦分散,即没法坚持清洁空间,是以必须操纵气流将发生的灰尘敏捷排挤室外。
  无尘室内的气流是摆布无尘室机能的主要身分,通俗无尘室的气流速率是选0.25~0.5m/s之间,此气流速率属轻风地区,易受人、机械等的举措而搅扰趋于紊乱、虽进步风速可按捺此一侵扰之影响而坚持清洁度、但因风速的进步,将影响运行本钱的增添,以是应在知足请求的清洁度水准之时,能以最得当的风速供给,以到达得当的风速供给以到达经济性结果。
  别的一方面欲到达无尘室清洁度之不变结果,均一气流之坚持亦为一主要身分,均一气流若没法坚持,表现风速有异,出格是在壁面,气流会延着壁面发生涡流感化,此时要完成高清洁度现实上很坚苦。
  垂直层流式标的目的要坚持均一气流必须:(a)吹出头具名的风速不可有速率上的差别;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速率上的差别。速率太低或太高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之景象发生,而0.5m/s之速率,气流则较均一,今朝通俗无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
  影响无尘室的气流身分良多,如制程装备、职员、无尘室组装材、照明用具等,同时对出产装备上方气流的分流点,亦应参加斟酌身分。
  通俗操纵台或出产装备等外表的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3的地方,如斯可以或许使功课职员任务时,气流可从制程区外部流向功课区,而将微尘带走;若分流点设置装备摆设在制程区后方,将成为不妥的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区以后,功课员操纵所引发的灰尘将被带到装备前面,任务台因此将遭到污染,良率也必将下降。
  无尘室内的任务桌等妨碍物,在相接处均会有涡流景象发生,绝对地在其四周之清洁度将会较差,在任务桌面钻上回风孔,将使涡流景象削减最低;组装资料之挑选是不是得当、装备规划是不是完美,亦为气流是不是成为涡流景象之主要身分。

无尘室组成

 无尘室的组成是由以下各项体系所组成(在所组成的体系份子中是缺一不可的),不然将没法组成一完全且品德杰出的无尘室:

(1)天花板体系:

  包罗吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空调体系:

  包罗氛围舱、过滤器体系、风车等。

(3)隔墙板(Partitional wall):

  包罗窗户、门。

(4)地板:

  包罗高架地板或防静电地板、和环氧自流平及滚涂空中。

(5)照明用具:

  包罗日光灯、黄色灯管等。

(6)无尘室之修建主体机关

  通俗是用钢筋或骨水泥,但不管是何种机关,必须知足以下之前提:

  A.不会因温度变更与振动而发生裂缝;

  B.不易发生微尘粒子,且很难附着粒子;

  C.吸湿性小;

  D.为了坚持室内之湿度前提,热绝缘性要高;

工程(重组基因、疫苗制备)

无尘室之分类

1.乱流式(Turbulent Flow):
  氛围由空调箱经风管与无尘室内之氛围过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型勾当而呈不法例之乱流或涡流状况。乱流无尘室靠送风尚流不时浓缩室内氛围,将污染氛围逐步浓缩,来完成清洁的。气次数决议界说中的污染级别(换气次数越多,污染级别越高)。此型式合用于无尘室品级1,000-100,000级。
  长处:机关简略、体系制作本钱,无尘室之扩大比拟等闲,在某些出格用处场合,可并用无尘任务台,进步无尘室品级。
  毛病谬误:乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排挤,易污染制 程产物。别的若体系遏制运行再激活,欲达须要之清洁度,常常须耗时相称长一段时候。

2.层流式(Laminar):
  层流式氛围气流勾当成一平均之直线形,氛围由笼盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式合用于无尘室品级需定较高之情况操纵,一
3.复合式(Mixed Type):
   复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可供给部分超清洁之氛围。
  (1)清洁地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程地区或任务地区100%笼盖使清洁度品级进步至10级以上,可节流拆卸运行用度。
  此型式需将功课职员之任务区与产物和机械维修予以断绝,以防止机械维修时影响了任务及品德,ULSI制程多数接纳此种型式。清洁地道还有二项长处:A.弹性扩大等闲; B.维修装备时可在维修区等闲履行。
   (2)清洁管道(Clean Tube):将产物流程颠末的主动出产线包围并污染处置,将清洁度品级提至100级以上。因产物和功课员及发尘情况彼此断绝,少许之送风便可获得杰出之清洁度,可节流动力,不需野生的主动化出产线为最适合操纵。药品、食物业界及半导体业界均合用。
  (3)并装部分无尘室(Clean Spot):将无尘室品级10,000~100,000之乱流无尘室内之产物制程区的清洁度品级进步为10~1000级以上,觉得出产之用;清洁任务台、清洁任务棚、清洁风柜即属此类。
  清洁任务台:品级Class 1~100级。
  清洁任务棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之通明塑料布围成一小空间,接纳自力之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高等之清洁空间,其品级为10~1000级,高度在2.5米摆布,笼盖面积约10m2以下,四支支柱并加装勾当轮,可为弹性操纵。

[打印本页]  [封闭窗口]